精机产品・技术报告：高精度空气导轨

空气导轨采用静压空气轴承进行导向，滑动面的摩擦极小，没有滑移爬行。因此运行非常平稳，能获得很高的直线度和定位精度，速度不均也很少。同时，产生异物少很适合在清洁环境的场合使用。
根据这些优异的特性，各种精密测量设备或者是逐渐高密度化高精度化的半导体及情报设备的制造装置，检查装置等，在这些地方原来使用滚动导轨很难达到所需的精度的条件下，使用空气滑块的场合很多。NSK针对这种要求，开发并生产出了空气导轨。
NSK标准形状的空气导轨按照导轨的支撑方式的不同分为2类（如图1）。A型空气导轨的导轨两端的支撑方式采用最简单的构造，适合轻载时使用（如图2）。B型空气导轨的导轨两端采用全面支撑，没有因载荷而导致的导轨的弯曲变形，适合重载时使用（如图3）。NSK空气导轨的特点如下所示。