特点
各类产业机械为了实现大量生产、提高性能的目的，大容量化、小型轻量化（细微化）、高精度化、高速化以此为开发目标。特别在半导体制造设备中，随半导体的发展对开发速度也提出了要求。为了解决各类问题，逐渐开发了满足各自用途的引导装置。甚至在半导体制造设备中，特别要求低发尘（润滑脂）、长寿命（免维护）这样的性能。NSK将实现了高精度・清洁 ・免维护的非接触式直驱滑动进行了商品化。
【用途】
- 半导体相关的制造・检测装置（薄晶片、薄膜）
- 液晶相关的制造・检测装置（彩色胶片、薄膜）
- 磁盘・光盘相关的制造・检测装置
- 紧密细微加工机械
- 各类检测装置
1. 使用DC无刷电机实现高运动精度
通过使用无齿槽DC无刷电机实现高运动精度。
2. 由于非接触式引导速度的起伏很小
由于非接触式引导的空气滑块使速度的起伏很小。
3. 实现低发尘・免维护
采用空气滑块的非接触式引导和无刷电机，获得完全非接触式的运动实现了低发尘・免维护。
4. 结构部件的精度寿命长
结构部件均采用全陶瓷，实现了长精度寿命。
5. 采用混合轴承构造实现了轻量薄型
静压多孔质的浮力与永磁体的吸引力之间取得平衡的混合轴承构造实现了轻量薄型化。