真空镀膜机,半导体

某半导体企业的真空镀膜机透镜支架支撑用轴承,使用环境温度250℃,真空度10-6Pa,并且要求轴承润滑不能污染镀膜材料,否则会出现产品报废现象,造成生产损失。之前使用某国产品牌固体润滑轴承,使用不到1个月频繁出现噪音、卡顿、卡死现象,甚至导致透镜支架掉落以及生产线停止,造成巨大的经济损失。
NSK技术专家经过现场客户交流和调查分析,提出改善方案,推荐NSK的特殊环境使用的SJ型耐高温固体润滑轴承

什么样的轴承才能满足如此严苛的使用环境?
设备使用环境苛刻,轴承润滑不能污染镀膜材料,否则会出现产品报废现象,造成生产损失。原使用的轴承使用不到1个月,就频繁出现噪音、卡顿、卡死现象,甚至导致透镜支架掉落及生产线停止。
光是轴承成本就高达57万多,
更别提还有维修更换、停机成本等。
什么样的轴承,才能满足如此严苛的使用环境呢?

NSK专家调查找到了问题
- 使用位置:真空镀膜机设备
- NSK专家认为,设备使用于真空环境,温度高,原使用轴承高温环境下润滑失效是导致轴承润滑不良、出现噪音、卡死现象的主要原因
- 轴承润滑不能污染镀膜材料,因此设备需要使用固体润滑轴承
- NSK推荐特殊环境用SJ型耐高温固体润滑轴承


SJ型耐高温固体润滑轴承
SJ型耐高温固体润滑轴承
- MoS2固体润滑(无润滑脂)。
- 适用于“大气〜10-8帕,最高温度达400℃”的工况。
- 采用“豆角”结构,使得该产品在使用寿命及摩檫力矩稳定性方面表现优异。
- 耐高温,使用寿命长,释放气体少。
- 耐久性达到旧型固体润滑剂涂敷型耐高温轴承的6倍以上

节省成本
轴承更换、维修成本、设备停机成本等
更换前
¥877,200
NSK解决方案
¥526,200
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